集成電路裝備精密零部件國產(chǎn)化 為攀登制造業(yè)“珠穆朗瑪”提供基石

　　 中國最大宗的進(jìn)口產(chǎn)品是什么？答案是芯片。數(shù)據(jù)顯示，從2006年開始，中國集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品的進(jìn)口超過石油成為中國最大宗進(jìn)口產(chǎn)品。2013年至2016年，中國每年芯片進(jìn)口額超過2000億美元。其中，2016年進(jìn)口金額為2270.26億元，是同期原油進(jìn)口金額的兩倍。

　　隨著5g、人工智能和物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，我國對(duì)芯片的需求將進(jìn)一步走強(qiáng)。芯片廣泛應(yīng)用于社會(huì)生活的各個(gè)方面，像能源、交通、運(yùn)輸、原材料等基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)一樣，是支撐社會(huì)經(jīng)濟(jì)運(yùn)行的基礎(chǔ)，如果基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)供給能力不足，國民經(jīng)濟(jì)增長將受到影響。因此，想要實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)真正發(fā)展，我國芯片必須擺脫對(duì)外的高度依賴。要支撐集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，ic裝備產(chǎn)業(yè)至關(guān)重要。

　　ic裝備產(chǎn)業(yè)是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產(chǎn)設(shè)備，體現(xiàn)一個(gè)國家現(xiàn)代裝備制造業(yè)水平和實(shí)力的重要標(biāo)志，因占據(jù)了科技制高點(diǎn)，被稱為制造業(yè)的“珠穆朗瑪峰”。

　　集成電路體系復(fù)雜，對(duì)應(yīng)用材料純度極高，在6個(gè)9甚至10個(gè)9以上，即材料純度需要達(dá)到99.9999%甚至99.99999999%。此外，集成電路有一個(gè)基本特征：每一代技術(shù)的尺寸縮小1/3，對(duì)應(yīng)整個(gè)集成度提高4倍。因此，ic設(shè)備企業(yè)對(duì)關(guān)鍵零部件在原材料的純度、質(zhì)量穩(wěn)定性等方面要求極高，沒有滿足ic裝備企業(yè)工藝要求的零部件供應(yīng)，ic裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展無法想象。

　　“富創(chuàng)生產(chǎn)幾乎覆蓋集成電路的所有零件，來圖加工，以我們的組織加工能力保質(zhì)、保量、按時(shí)完成零件生產(chǎn)。”12月6日，記者跟隨“制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”網(wǎng)絡(luò)主題活動(dòng)來到位于遼寧沈陽的富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司，公司財(cái)務(wù)副總江山向記者介紹了我國ic裝備零部件精密制造現(xiàn)狀。
　　
　　2008年，我國將“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”列入國家科技重大專項(xiàng)(簡稱“02專項(xiàng)”)并開始實(shí)施，集成電路高端裝備和材料從無到有，形成良性發(fā)展的產(chǎn)業(yè)鏈和自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系。

　　“集成電路體系好比一個(gè)金字塔。在專項(xiàng)實(shí)施之前沒有形成金字塔；專項(xiàng)實(shí)施之后我們做出了集成電路的材料，有了裝備、工藝和封裝，金字塔搭起來了。” 2017年的一場發(fā)布會(huì)上，國家科技重大專項(xiàng)技術(shù)總師、中科院微電子研究所所長葉甜春這樣介紹集成電路專項(xiàng)實(shí)施取得的攻關(guān)成果。

　　舉國發(fā)展集成電路的背景下，富創(chuàng)誕生了。通過02專項(xiàng)的支持，富創(chuàng)實(shí)現(xiàn)了ic裝備精密零部件國產(chǎn)化的從無到有，形成了服務(wù)我國ic裝備的基本能力，支撐了集成電路裝備企業(yè)長足發(fā)展，關(guān)鍵零部件、核心技術(shù)打破了國外對(duì)中國集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)封鎖。

　　“零件生產(chǎn)需要繁雜的認(rèn)證。”江山說，“先要通過第三方機(jī)構(gòu)對(duì)企業(yè)生產(chǎn)體系認(rèn)證，其次是首批生產(chǎn)1個(gè)零件，經(jīng)過6個(gè)月認(rèn)證周期，通過之后進(jìn)行小批量生產(chǎn)5-6個(gè)零件，還要經(jīng)過6個(gè)月認(rèn)證，再次通過之后才能進(jìn)行大批量生產(chǎn)。” 富創(chuàng)生產(chǎn)的零件已經(jīng)得到日本、美國等國廠商認(rèn)證。

　　人工智能技術(shù)為經(jīng)濟(jì)發(fā)展注入新活力，制造業(yè)是人工智能技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域，推動(dòng)制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)，提升國際競爭力。人工智能對(duì)ic裝備零件制造的影響同樣巨大。集成電路關(guān)鍵設(shè)備零部件具有多品種，小（微）批量、高精度、制造過程高度復(fù)雜等加工特點(diǎn)，智能產(chǎn)線、數(shù)字化仿真、協(xié)同與集成等智能化手段建成集成電路關(guān)鍵設(shè)備零部件柔性數(shù)字化車間，能夠有效降低整機(jī)企業(yè)成本，提高競爭力。

　　在國家智能專項(xiàng)項(xiàng)目支持下，富創(chuàng)已建成數(shù)字化車間，實(shí)現(xiàn)零件柔性、高效、智能化生產(chǎn)。江山說，富創(chuàng)要做的就是給ic裝備提供零件支撐，降低ic裝備零件成本，推動(dòng)國產(chǎn)化替代趨勢(shì)。

　　需要承認(rèn)的是，我國集成電路還停留在趕超階段，國內(nèi)產(chǎn)品無法完全滿足市場需求。同時(shí)，集成電路作為全球化產(chǎn)業(yè)，無論主動(dòng)與否，國內(nèi)產(chǎn)業(yè)都要參與全球競爭。江山說，富創(chuàng)在給國內(nèi)外ic裝備企業(yè)提供零件的同時(shí)，積極向日本等國學(xué)習(xí)，強(qiáng)化自己的技術(shù)。（曹靜）

　　轉(zhuǎn)自：中國日?qǐng)?bào)網(wǎng)

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