江豐電子：16年堅(jiān)守 造就尖端靶材“破壁英雄”

　　項(xiàng)目介紹：寧波江豐電子材料股份有限公司“超高純鋁鈦銅鉭金屬濺射靶材制備技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。

　　邁進(jìn)寧波江豐電子材料股份有限公司的大門，首先進(jìn)入視野的，是一面鑲嵌著碩大金屬圓盤的屏風(fēng)。

　　這塊造型獨(dú)特的金屬圓盤，設(shè)計(jì)思路來源于一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造的關(guān)鍵耗材——超高純金屬濺射靶材。2005年創(chuàng)立企業(yè)至今，江豐電子的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)將全部心血傾注到這項(xiàng)尖端技術(shù)的研發(fā)和市場(chǎng)應(yīng)用，從創(chuàng)業(yè)初期的連年虧損，到逐步做大并敲鐘上市，再到如今獲得重量級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)，16年苦心孤詣“面壁”攻關(guān)，最終造就了充滿輝煌與榮耀的“破壁英雄”。近日，由江豐電子牽頭的“超高純鋁鈦銅鉭金屬濺射靶材制備技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)，相關(guān)產(chǎn)品不僅滿足了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求，還能大量出口海外，芯片制造用濺射靶材市場(chǎng)份額居全球第二、全國(guó)第一。

　　超高精度的“打靶競(jìng)賽”

　　密閉腔室中，氬離子猶如一顆顆炮彈砸向“標(biāo)靶”，將靶面的金屬原子轟離。在電場(chǎng)影響下，這些金屬原子“濺射”并沉積到“標(biāo)靶”的另一面，慢慢形成一層金屬膜，隨后根據(jù)客戶需求應(yīng)用于芯片制造——這就是濺射靶材的使用過程。

　　在江豐電子制造中心技術(shù)廠長(zhǎng)袁海軍看來，這一使用過程很像射擊打靶?！爸皇沁@場(chǎng)打靶競(jìng)賽的精細(xì)程度，幾乎達(dá)到了工業(yè)領(lǐng)域的最高水準(zhǔn)?！彼f。

　　譬如，為了讓金屬膜更平整、更均勻，江豐電子采購定制化國(guó)內(nèi)大型高端加工設(shè)備，“像揉面一樣揉金屬”，精細(xì)調(diào)控金屬晶粒生長(zhǎng)方向，最大限度降低鍍膜時(shí)的誤差，減少后續(xù)處理工序的成本和時(shí)間。

　　此外，江豐電子還攻克了超高純金屬濺射靶材精密機(jī)加工和異種金屬大面積、高強(qiáng)度、高結(jié)合率焊接等技術(shù)，解決了高純材料加工時(shí)易變形、易劃傷，焊接工件材料之間界面氧化、材料應(yīng)力變形等難題。

　　據(jù)了解，一塊規(guī)格較大的超高純金屬濺射靶材可以在下游制造商的工廠里使用近一個(gè)月，為數(shù)百萬乃至上千萬顆芯片提供材料，其價(jià)格約等于一輛中檔轎車?！罢?yàn)樗摹韮r(jià)’如此之高，與芯片制造的關(guān)系如此緊密，我們必須全力把控工藝精度與產(chǎn)品品質(zhì)，確保企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力和話語權(quán)?！痹＼娬f。

　　如今，江豐電子陸續(xù)攻克靶材制備的多個(gè)技術(shù)難題，建成完全基于國(guó)產(chǎn)化裝備的世界一流濺射靶材生產(chǎn)基地，年產(chǎn)量達(dá)10萬枚，已在國(guó)內(nèi)外芯片制造廠商實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用。這場(chǎng)反復(fù)琢磨、深入研究10余年的“打靶競(jìng)賽”，讓江豐電子真正站在了行業(yè)最前沿。

　　追逐“世界第一”發(fā)展夢(mèng)

　　技術(shù)領(lǐng)域的接連突破，給予江豐電子持續(xù)壯大實(shí)力、進(jìn)一步攀登科技高峰的充足信心。

　　今年前三季度，企業(yè)營(yíng)業(yè)收入約11.23億元，較上年同期增長(zhǎng)32.93%。在新冠肺炎疫情和“缺芯潮”雙重影響之下，企業(yè)發(fā)展依舊保持良好態(tài)勢(shì)?！敖S電子所處的行業(yè)技術(shù)迭代快速、市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈，但我們始終瞄準(zhǔn)國(guó)家重大需求、聚焦全球最頂尖技術(shù)，希望能真正成為讓國(guó)人自豪的民族企業(yè)、成為當(dāng)之無愧的世界第一?！逼髽I(yè)創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)兼首席技術(shù)官姚力軍如此期盼。

　　沖刺“世界第一”的底氣，源于對(duì)科技研發(fā)孜孜不倦的投入。

　　今年前三季度，企業(yè)投入研發(fā)費(fèi)用7000余萬元，占營(yíng)業(yè)收入的6.4%，同比增長(zhǎng)43.74%。借力重慶大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、浙江大學(xué)、寧波材料所等國(guó)內(nèi)外高校和研究機(jī)構(gòu)，江豐電子成為專業(yè)人才的重要實(shí)踐基地，目前已集聚100多位高層次研發(fā)人員。

　　敢花錢、能用人，換得了創(chuàng)新創(chuàng)造的豐碩成果。截至今年9月底，江豐電子獲得國(guó)內(nèi)有效授權(quán)專利416項(xiàng)，制訂各級(jí)各類行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)20余項(xiàng)。企業(yè)的榮譽(yù)墻上，“半導(dǎo)體材料十強(qiáng)企業(yè)”“國(guó)家單項(xiàng)冠軍示范企業(yè)”和各類科學(xué)獎(jiǎng)項(xiàng)的牌匾滿滿當(dāng)當(dāng)、閃耀奪目。

　　江豐電子所在的這片土地，是單項(xiàng)冠軍企業(yè)數(shù)量最多的城市，有著培育“世界第一”的肥沃土壤。在芯片制造用濺射靶材領(lǐng)域站穩(wěn)腳跟之后，江豐電子正瞄準(zhǔn)超高純金屬原材料制備、半導(dǎo)體精密零部件制造等更多尚存空白的上下游產(chǎn)業(yè)，朝著夢(mèng)想中的“王冠”一路飛馳。

　　轉(zhuǎn)自：寧波日?qǐng)?bào)

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