鏈主+關(guān)鍵部件，凱世通與瑟米肯等走出新質(zhì)生產(chǎn)力新范式

　　2024年9月6日，零部件本土化新質(zhì)生產(chǎn)力研討會暨協(xié)同創(chuàng)新戰(zhàn)略合作簽約儀式在上海浦東成功舉辦，萬業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導體股份有限公司（以下簡稱凱世通）與瑟米肯（上海）半導體科技有限公司（以下簡稱瑟米肯）等多家國內(nèi)集成電路零部件企業(yè)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，對半導體產(chǎn)業(yè)新質(zhì)生產(chǎn)力走出了新的范式。

　　過去的幾十年里，半導體產(chǎn)業(yè)屬于投入大、產(chǎn)出慢、周期長、卡點多的產(chǎn)業(yè)，隨著美國出口管制尤其是2022年10月7日新一輪管制以來，半導體制造環(huán)節(jié)中的很多設(shè)備都被卡脖子，例如光刻、離子注入、刻蝕、鍍膜設(shè)備?？ú弊又幮枰黄频狞c多、攻克難度大，其中電子吸盤、射頻電源、PFG/TPFG等關(guān)鍵零部件，也成為制約整個半導體產(chǎn)業(yè)健康持續(xù)、自主可控發(fā)展關(guān)鍵瓶頸。

　　萬業(yè)企業(yè)總裁兼旗下凱世通董事長李勇軍博士表示，凱世通在離子注入領(lǐng)域早已布局，目前已基本實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機供應(yīng)鏈自主可控。在上下游產(chǎn)業(yè)鏈的緊密協(xié)作下，凱世通多個關(guān)鍵零部件項目已開花結(jié)果。同時經(jīng)過系列科技攻關(guān)與研發(fā)創(chuàng)新，凱世通產(chǎn)品測試性能表現(xiàn)優(yōu)異，維護成本低，并已交付給客戶進行產(chǎn)線驗證。

　　瑟米肯董事長黨軍鋒表示，像射頻電源這樣的關(guān)鍵零部件卡脖子，主要有三個方面的原因：一是學科交叉、材料缺乏；二是能不能解構(gòu)專業(yè)門類，將人才有效組織在一起；三是能不能有真正的測試環(huán)境，真正的工藝驗證，否則就是紙上談兵。過去，瑟米肯能夠連續(xù)獲得頭部FAB認可、取得Vendor code、成功實現(xiàn)供貨、成功通過全部工藝驗證，主要是得到了凱世通這個鏈主的支持，對產(chǎn)品需求信息、工藝參數(shù)要求、束流控制精度、相位鎖相精度等有了精準的了解，再通過不斷的測試、驗證、調(diào)整、迭代，才有了國產(chǎn)射頻電源的聚合、淬煉和創(chuàng)新！今天的研討會和戰(zhàn)略協(xié)同簽約活動，是進一步將鏈主+關(guān)鍵部件模式向更多同行推廣，相信后續(xù)會有更多的企業(yè)來學習、借鑒這樣的模式。這對國產(chǎn)關(guān)鍵部件廠商提升研發(fā)實力、進行升級迭代、滿足工藝要求，是一件大喜事！對整個半導體產(chǎn)業(yè)也將帶來深遠影響！

　　元禾璞華董事總經(jīng)理陳瑜表示，元禾璞華10年時間投資了200多家半導體、硬科技相關(guān)企業(yè)，覆蓋半導體產(chǎn)業(yè)鏈上下游的設(shè)計、制造、封測、設(shè)備、零部件和材料企業(yè)，其中40多家已經(jīng)IPO。凱世通和瑟米肯都是元禾璞華的被投企業(yè)，今年在產(chǎn)品研發(fā)和客戶導入上均取得了很大的進展。凱世通作為半導體晶圓制造前道非常關(guān)鍵的離子注入機設(shè)備“鏈主”企業(yè)，一直在帶動瑟米肯等國產(chǎn)零部件廠商的項目定位、研發(fā)方向和測試驗證，解決供應(yīng)鏈卡脖子問題。今天“鏈主”將射頻電源、PFG、靜電吸盤、陶瓷材料、MFC等關(guān)鍵部件企業(yè)聚合在一起，意義重大。陳瑜認為，零部件國產(chǎn)化的意義不僅在于供應(yīng)鏈的安全、自主可控、解決卡脖子問題，而且將加速半導體設(shè)備的自主創(chuàng)新，從而為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品及解決方案，為半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)同升級、自主可控提供了一個新的范式。

　　面向未來，相信此次戰(zhàn)略合作的簽約項目，包括微波等射頻電源、離子體噴槍、靜電吸盤材料、真空自動化機器人、超高能射頻加速器、高精度氣體流量計等多款關(guān)鍵零部件，能夠在鏈主凱世通的帶領(lǐng)下，為客戶提供性能更優(yōu)、成本更低、自主可控的產(chǎn)品與服務(wù)解決方案，能夠為國產(chǎn)半導體帶來“芯”動力，填補“芯”空白。

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