芯片制造關鍵設備再突破 離子注入機全譜系產(chǎn)品實現(xiàn)國產(chǎn)化

　　記者近日從中國電子科技集團有限公司獲悉，該集團旗下裝備子集團已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。

　　離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。據(jù)介紹，中國電科連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印奔夹g，自主研制中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，累計形成核心發(fā)明專利413項，實現(xiàn)中國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，有效緩解我國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題。(記者溫競?cè)A)

　　轉(zhuǎn)自：新華社

　　【版權(quán)及免責聲明】凡本網(wǎng)所屬版權(quán)作品，轉(zhuǎn)載時須獲得授權(quán)并注明來源“中國產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟信息網(wǎng)”，違者本網(wǎng)將保留追究其相關法律責任的權(quán)力。凡轉(zhuǎn)載文章及企業(yè)宣傳資訊，僅代表作者個人觀點，不代表本網(wǎng)觀點和立場。版權(quán)事宜請聯(lián)系：010-65363056。

延伸閱讀