近日，SEMI發(fā)布全球半導(dǎo)體設(shè)備市場報(bào)告指出，2017年中國大陸半導(dǎo)體行業(yè)的投資繼續(xù)大幅增長，預(yù)計(jì)面向半導(dǎo)體設(shè)備的投資額將達(dá)到54億美元，排名全球第三；預(yù)計(jì)明年將達(dá)到86億美元，超過中國臺(tái)灣地區(qū)，成為第二大半導(dǎo)體裝備市場。這對(duì)國內(nèi)半導(dǎo)體裝備企業(yè)來說，既是機(jī)遇也是挑戰(zhàn)，應(yīng)當(dāng)把握這一難得的發(fā)展機(jī)遇，做強(qiáng)國產(chǎn)裝備制造業(yè)。
（資料圖片 來源于網(wǎng)絡(luò)） 半導(dǎo)體設(shè)備投資將大幅增長
隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)等應(yīng)用的火熱發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也迎來新一輪熱潮。根據(jù)世界半導(dǎo)體貿(mào)易統(tǒng)計(jì)協(xié)會(huì)（WSTS）預(yù)測(cè)，2017全球半導(dǎo)體產(chǎn)值將達(dá)3778億美元，相比2016年大幅增長11.5%。受此影響，投向半導(dǎo)體設(shè)備的資金也得到大幅增長。全球幾大半導(dǎo)體龍頭2017年的設(shè)備投資均較2016年有了大幅度的提高。
其中，三星2017年在半導(dǎo)體領(lǐng)域的設(shè)備上投資金額將比2016年增長11%，達(dá)到125億美元；英特爾2017年設(shè)備方面的投資比2016年增長25%，達(dá)到120億美元；SK海力士2017年在設(shè)備上的投資也達(dá)到60億美元。
與國際動(dòng)向一致，過去兩年中，中國大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，大舉投資建設(shè)晶圓廠，用于購買半導(dǎo)體設(shè)備的資金也不斷增加。根據(jù)SEMI發(fā)布的數(shù)據(jù)，全球第一季度半導(dǎo)體設(shè)備支出金額為131億美元，韓國以35.3億美元位居第一，同比增長110%；中國臺(tái)灣地區(qū)投資金額34.8億美元，同比增長86%；中國大陸則是20.1億美元，同比增長25%。同時(shí)預(yù)計(jì)2017年中國大陸用于購買半導(dǎo)體裝備的資金將達(dá)54億美元，排名全球第三；2018年將進(jìn)一步增長至86億美元，成為全球第二，僅次于韓國。
考察中國大陸在半導(dǎo)體設(shè)備上的投資來源，其中既有來自華力微電子、中芯國際等老牌半導(dǎo)體企業(yè)，也有長江存儲(chǔ)、福建晉華以及合肥長鑫等新興公司的投入。
國產(chǎn)裝備產(chǎn)業(yè)化能力不足
中國大陸在半導(dǎo)體裝備上投資的大幅增長，對(duì)于國內(nèi)裝備企業(yè)來說，既是機(jī)遇也是挑戰(zhàn)，能否抓住這次難得的市場機(jī)會(huì)，成為業(yè)界關(guān)注的重點(diǎn)。
資料顯示，一條晶圓生產(chǎn)線上至少包括十幾種主要機(jī)臺(tái)設(shè)備，如刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、薄膜生長設(shè)備、氧化爐、LPCVD、退火爐、清洗機(jī)、單晶生長設(shè)備、CMP設(shè)備等。為了提升半導(dǎo)體設(shè)備的配套能力，國家通過科技重大專項(xiàng)以及相應(yīng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃加以扶持，我國企業(yè)的技術(shù)實(shí)力已經(jīng)得到顯著增強(qiáng)。
據(jù)中科院微電子所所長葉甜春介紹，在關(guān)鍵裝備和材料方面，我國實(shí)現(xiàn)了從無到有的跨越，大部分產(chǎn)品水平達(dá)到28nm，部分產(chǎn)品進(jìn)入14nm，被國外生產(chǎn)線采用；國產(chǎn)設(shè)備驗(yàn)證和應(yīng)用整體累積流片突破150萬片，銷售數(shù)量超過265臺(tái)。從工藝分布上看，國產(chǎn)設(shè)備橫跨了12英寸集成電路生產(chǎn)線90nm～14nm各個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的關(guān)鍵性工藝大類，并基本與國內(nèi)14nm先進(jìn)工藝研發(fā)同步進(jìn)行驗(yàn)證。不過，葉甜春同時(shí)也強(qiáng)調(diào)，當(dāng)前國產(chǎn)裝備產(chǎn)業(yè)化程度還不夠。
SEMI中國區(qū)總裁居龍針對(duì)中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備投資大幅度增長的情況也提出警告，盡管中國大陸半導(dǎo)體投資大增，中國大陸設(shè)備廠的供應(yīng)能力卻嚴(yán)重不足。這主要表現(xiàn)為產(chǎn)化率偏低，國產(chǎn)設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化能力還遠(yuǎn)不能滿足市場需求。
而根據(jù)海通證券發(fā)布的一份報(bào)告中的數(shù)據(jù)，一條總成本約10億美元的8英寸生產(chǎn)線，設(shè)備成本占6.5億美元，國產(chǎn)設(shè)備約占據(jù)6500萬美元。在12英寸生產(chǎn)線上，設(shè)備國產(chǎn)率約5%；成熟一些的90nm生產(chǎn)線的設(shè)備國產(chǎn)率可以達(dá)到8%。
在半導(dǎo)體薄弱環(huán)節(jié)應(yīng)重點(diǎn)布局
針對(duì)當(dāng)前發(fā)展態(tài)勢(shì)，北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司高級(jí)副總裁、首席戰(zhàn)略官張國銘指出：“從歷史上看，每一次市場轉(zhuǎn)移都為配套產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶來機(jī)遇。全球一流的半導(dǎo)體制造商和我們本土優(yōu)秀的半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)的技術(shù)與產(chǎn)能擴(kuò)張必將帶動(dòng)本土設(shè)備技術(shù)的發(fā)展，與國際一流客戶在地域上的親近以及良好的服務(wù)體系無疑為本土設(shè)備商協(xié)同客戶發(fā)展提供了極好的契機(jī)。”
上海兆芯集成電路有限公司副總裁傅城表示，我國這些年來扶持發(fā)展了一些設(shè)備企業(yè)。當(dāng)前，這些企業(yè)的首要任務(wù)就是立足國內(nèi)市場。在過去的十幾年中，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場并不大，在2015年以前基本上每隔2～3年才會(huì)發(fā)布一家12英寸或8英寸項(xiàng)目。這樣的市場規(guī)模，很難喂飽一家規(guī)模設(shè)備企業(yè)?，F(xiàn)在隨著多個(gè)大型項(xiàng)目的發(fā)布，至少在市場層面上規(guī)模在擴(kuò)大，如果每年啟動(dòng)3～4條生產(chǎn)線的建設(shè)，并保持這種成長速度，相信3～5年后支撐起5～6家國內(nèi)設(shè)備企業(yè)是有可能的。
傅城還指出，培育國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)成長需要一定的政策傾斜。比如規(guī)定在符合設(shè)備規(guī)格條件的情況下，至少要有一半設(shè)備從國內(nèi)供應(yīng)商采購。這樣就會(huì)給國有設(shè)備廠商一個(gè)成長的機(jī)會(huì)。設(shè)備廠的成長需要有適當(dāng)?shù)纳虡I(yè)環(huán)境，資金、人才、技術(shù)的積累都需要一個(gè)過程。
葉甜春則特別強(qiáng)調(diào)了中國發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需要建立完整的產(chǎn)業(yè)鏈條，不應(yīng)出現(xiàn)明顯的短板。隨著集成電路復(fù)雜度的提高，其測(cè)試的復(fù)雜度也水漲船高，半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的重要性正在不斷提升，而目前中國，尤其在半導(dǎo)體檢測(cè)及測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)還很薄弱。
因此，未來中國應(yīng)在幾個(gè)重要且又相對(duì)薄弱的產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)上重點(diǎn)布局，通過重大專項(xiàng)以及產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)密切互動(dòng)等方式對(duì)弱勢(shì)環(huán)節(jié)加以培育，同時(shí)要重視國際合作，尤其應(yīng)鼓勵(lì)和支持高端合作，以滿足產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的需求。（本報(bào)記者 陳炳欣）
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