全國80%電子級磷酸“興發(fā)造”

　　1月22日，宜昌市猇亭區(qū)湖北化學(xué)品專區(qū)A區(qū)，3萬噸電子級磷酸廠房內(nèi)，機器一刻不停地運轉(zhuǎn)。

　　20名工人緊盯著電腦，監(jiān)測著產(chǎn)線運行?！跋掠螖?shù)十家半導(dǎo)體企業(yè)等著產(chǎn)品，產(chǎn)線不停工，供應(yīng)不能斷?！痹降侥昵?，興發(fā)集團副總工程師楊著越是忙得腳不沾地。

　　廠房里正在生產(chǎn)的電子級磷酸，是芯片制造的重要輔助原料，主要用于半導(dǎo)體晶圓蝕刻，被稱為磷化工“皇冠上的明珠”。過去，我國電子級磷酸幾乎全部依賴進口，曾是實現(xiàn)芯片國產(chǎn)化的“卡脖子”產(chǎn)品之一。

　　與普通工業(yè)磷酸不同，電子級磷酸對純度要求極高，必須避免因金屬離子、顆粒物偏高，導(dǎo)致芯片蝕刻產(chǎn)生雜物，其價格是普通工業(yè)級磷酸的近三倍。

　　楊著說，從芯片半成品到成品，有200多道工序，需要10余種電子級高純濕化學(xué)品，任何一種產(chǎn)品都有被“卡”的風(fēng)險。

　　2008年，興發(fā)集團進軍微電子新材料研發(fā)，電子級磷酸就是目標(biāo)之一。

　　宜昌具備得天獨厚的磷礦資源優(yōu)勢，但首先要攻克純度問題。對于彼時的興發(fā)而言，最大挑戰(zhàn)是關(guān)鍵核心設(shè)備定制和關(guān)鍵金屬離子分離難點。

　　在芯片制造行業(yè)，技術(shù)更新迭代快，每18個月就迭代一次，勢必要求電子級磷酸的純度提升不斷加快。經(jīng)過數(shù)年研發(fā)攻關(guān)，興發(fā)生產(chǎn)的電子級磷酸，純度從2010年投產(chǎn)時的100ppb，提升到3ppb。

　　2019年，興發(fā)集團“芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)”獲得國家科學(xué)技術(shù)進步二等獎。

　　技術(shù)問題解決了，隨之而來的就是量產(chǎn)和市場?！皣a(chǎn)能不能抵得上進口？”這是當(dāng)時市場上的最大疑惑。

　　另一個巨大壓力是，在芯片生產(chǎn)的200多道工序中，電子級磷酸蝕刻環(huán)節(jié)一旦出問題，芯片就會報廢，損失巨大。

　　為拿到國內(nèi)一家龍頭企業(yè)的認可和訂單，興發(fā)用了兩年時間，一步步通過小規(guī)模測試、中等規(guī)模測試、大規(guī)模測試，最終憑借過硬的自主創(chuàng)新，拿下這筆關(guān)鍵訂單——國產(chǎn)電子級磷酸上線。

　　望著眼前繁忙的生產(chǎn)線，楊著感慨地說，從實現(xiàn)科技自主和穩(wěn)定量產(chǎn)，興發(fā)用了近10年。如今，國內(nèi)市場上80%以上的電子級磷酸均來自興發(fā)，并出口海外?？蛻糁?，還不乏多家世界級芯片制造企業(yè)的身影。10余種高純濕電子化學(xué)品已有大半實現(xiàn)國產(chǎn)。

　　去年4月，興發(fā)主導(dǎo)投資的湖北化學(xué)品專區(qū)開建。全部投產(chǎn)后將形成每年55萬噸的產(chǎn)能，包括濕電子化學(xué)品、電子級硅材料、電子級特氣等，進一步實現(xiàn)系列電子化學(xué)品國產(chǎn)化穩(wěn)定供應(yīng)。

　　轉(zhuǎn)自：湖北日報

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