超高純四氯化硅技術通過鑒定 整體水平達到國際先進


來源：中國產業(yè)經濟信息網   時間：2018-01-29




　　近日，中國恩菲和中硅高科共同承擔的超高純四氯化硅技術研發(fā)項目，通過了中國電子材料行業(yè)協(xié)會組織的專家成果鑒定。鑒定委員會專家一致認為，該項目成果實現(xiàn)了多晶硅副產物四氯化硅的綜合利用，提高了四氯化硅的產品附加值，整體技術水平達到國際先進。
 
　　鑒定意見顯示，該項目自主研發(fā)了以多晶硅副產物四氯化硅為原料，制備光纖用OVD級高純四氯化硅的吸附精餾提純工藝；以OVD級高純四氯化硅為原料，制備光纖用PCVD級超高純四氯化硅的光催化反應精餾提純工藝。同時，該項目還開發(fā)了超高純四氯化硅全自動充裝技術和裝備、超高純四氯化硅產品密閉在線取樣系統(tǒng)等先進的工藝及裝備技術，保證了產品質量穩(wěn)定性及檢測結果的準確性。
 
　　此外，該項技術成果已用于10000噸/年OVD級高純四氯化硅和100噸/年的PCVD級、半導體超高純四氯化硅生產裝置建設。（百川）
 
　　轉自：中國化工報
 



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