近日,中國恩菲和中硅高科共同承擔(dān)的超高純四氯化硅技術(shù)研發(fā)項目,通過了中國電子材料行業(yè)協(xié)會組織的專家成果鑒定。鑒定委員會專家一致認(rèn)為,該項目成果實現(xiàn)了多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅的綜合利用,提高了四氯化硅的產(chǎn)品附加值,整體技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)。
鑒定意見顯示,該項目自主研發(fā)了以多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅為原料,制備光纖用OVD級高純四氯化硅的吸附精餾提純工藝;以O(shè)VD級高純四氯化硅為原料,制備光纖用PCVD級超高純四氯化硅的光催化反應(yīng)精餾提純工藝。同時,該項目還開發(fā)了超高純四氯化硅全自動充裝技術(shù)和裝備、超高純四氯化硅產(chǎn)品密閉在線取樣系統(tǒng)等先進(jìn)的工藝及裝備技術(shù),保證了產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性及檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
此外,該項技術(shù)成果已用于10000噸/年OVD級高純四氯化硅和100噸/年的PCVD級、半導(dǎo)體超高純四氯化硅生產(chǎn)裝置建設(shè)。(百川)
轉(zhuǎn)自:中國化工報
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