5月23日,科技部會同北京市和上海市人民政府組織召開了國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(簡稱集成電路專項)成果發(fā)布會。
集成電路芯片是信息時代的核心基石,集成電路制造技術代表著當今世界微細制造的最高水平。長期以來,我國集成電路產業(yè)一直受到西方在先進制造裝備、材料和工藝引進等方面的種種限制,高端芯片主要依賴進口。為實現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展,2008年國務院批準實施集成電路專項,主攻裝備、工藝和材料的自主創(chuàng)新,由北京市和上海市人民政府牽頭組織實施。
據科技部介紹,自集成電路專項實施以來,共有200多家企事業(yè)單位和2萬多名科研人員參與攻關,9年來,中國已經研制成功14納米刻蝕機、薄膜沉積等30多種高端裝備和靶材、拋光液等上百種材料產品,性能達到國際先進水平,中國集成電路制造技術實現(xiàn)了“從無到有”、“由弱漸強”的巨大變化。
據悉,集成電路專項已經在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進行了系統(tǒng)部署,預計到2018年將全面進入產業(yè)化。“十三五”重點支持7-5納米工藝和三維存儲器等國際先進技術的研發(fā),支持中國企業(yè)在全球產業(yè)鏈中擁有核心競爭力,實現(xiàn)產業(yè)自主發(fā)展,形成特色優(yōu)勢。(躍文)