我國研制成功300毫米多線切割機(jī)

中國電子科技集團(tuán)公司總經(jīng)理王志剛1 月12 日透露，由中國電科承擔(dān)的國家重大科技專項(xiàng)“ 極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)”課題之一的300 毫米硅材料多線切割機(jī)近日研制成功，從而打破了國內(nèi)生產(chǎn)線上運(yùn)行的12 英寸多線切割機(jī)全部為進(jìn)口設(shè)備的現(xiàn)狀。

王志剛在中國電科2011 年工作會(huì)議上介紹說，這個(gè)項(xiàng)目是由中國電科自行設(shè)計(jì)，攻克了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，研制成功的實(shí)用化機(jī)型，能夠一次切割出400多片滿足生產(chǎn)線要求的12 英寸硅片。這項(xiàng)技術(shù)已向太陽能硅材料加工領(lǐng)域延伸，目前中國電科已與國際大型太陽能硅片企業(yè)簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，進(jìn)行多功位線鋸的研發(fā)，2011 年6 月前后將完成商業(yè)機(jī)型的生產(chǎn)線工藝驗(yàn)收。中國電科是我國軍工電子國家隊(duì)和國民經(jīng)濟(jì)信息化主力軍?！?十一五”期間中國電科為我國國防和國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)提供了一大批先進(jìn)的電子信息系統(tǒng)和裝備，研制出一大批關(guān)鍵元器件。

來源：中國質(zhì)量報(bào)

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