關(guān)鍵IC制造裝備國(guó)產(chǎn)化獲重大突破

沈陽(yáng)拓荊科技有限公司承擔(dān)研制的國(guó)家02 重大科技專項(xiàng)暨國(guó)產(chǎn)12 英寸PECVD 樣機(jī)近日出廠。這是我國(guó)自主開發(fā)研制的首臺(tái)12 英寸PECVD 設(shè)備。

12 英寸PECVD 設(shè)備是國(guó)際主流薄膜沉積設(shè)備，是芯片制造過(guò)程中四種最基本、最重要的設(shè)備之一。一直以來(lái)，12 英寸PECVD 技術(shù)都被歐美以及日本等國(guó)家所壟斷。此次首臺(tái)國(guó)產(chǎn)12 英寸PECVD 設(shè)備順利出廠，標(biāo)志著我國(guó)在集成電路高端設(shè)備研究和制造領(lǐng)域技術(shù)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，使我國(guó)IC 薄膜設(shè)備制造水平與國(guó)際IC 制造業(yè)主流技術(shù)水平保持同步，完善了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體重要裝備的產(chǎn)業(yè)鏈，打破了國(guó)外產(chǎn)品的市場(chǎng)壟斷和技術(shù)壟斷，使我國(guó)有能力在IC 高端設(shè)備市場(chǎng)上參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)，對(duì)提升我國(guó)IC 制造裝備的自主創(chuàng)新能力和核心競(jìng)爭(zhēng)力具有重要的戰(zhàn)略意義。

此次擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的12 英寸PECVD 設(shè)備樣機(jī)的成功研發(fā)，使沈陽(yáng)確立了在全國(guó)的集成電路裝備研發(fā)與制造領(lǐng)域同北京、上海三足鼎立的地位，這對(duì)調(diào)整遼沈地區(qū)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，創(chuàng)造新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)，推動(dòng)遼沈地區(qū)IC裝備制造產(chǎn)業(yè)化發(fā)展具有重大的意義。

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