近日,新疆眾和股份有限公司6N(99.9999%)級以上超高純鋁研發(fā)成功,填補了國內(nèi)空白。
國際第三方檢測機構(gòu)法國圖盧茲EAG實驗室出具的檢測分析報告顯示,新疆眾和提供的6N級以上超高純鋁樣的關鍵微量元素均達到了ppb(濃度達到10億分之1)級別,滿足高端半導體生產(chǎn)技術(shù)工藝要求。6N級以上超高純鋁研發(fā)成功為我國高端半導體生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展提供了穩(wěn)定可靠的超高純鋁材料,實現(xiàn)了超高純鋁提純技術(shù)的歷史性突破。
6N級以上超高純鋁的研發(fā)是新疆眾和自主開發(fā)的系統(tǒng)性科技創(chuàng)新項目。在一年多的研發(fā)過程中,新疆眾和高純鋁研發(fā)技術(shù)團隊以公司獨特的“定制普鋁+三層提純+偏析提純”高純鋁提純產(chǎn)業(yè)鏈為基礎,發(fā)揮產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢,利用內(nèi)部普鋁電解提供的優(yōu)質(zhì)原材料,攻克了在4N—5N超高純提純階段的關鍵元素及反偏析元素的核心難點。同時,研發(fā)團隊通過反復試驗,尋找、優(yōu)化提純工藝核心裝備與工藝技術(shù)的最佳匹配參數(shù),徹底解決了超高純鋁提純二次污染的瓶頸問題,圓滿完成6N級以上超高純鋁研發(fā)項目。
新疆眾和6N超高純鋁的研制成功對推進高端半導體芯片材料的國產(chǎn)化進程具有重大意義,標志著新疆眾和高純鋁提純技術(shù)達到世界先進水平。
轉(zhuǎn)自:中國有色金屬報
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