昭和電工強化高純度三氯化硼產(chǎn)能

　　昭和電工2月4日宣布，將提高高純度三氯化硼B(yǎng)Cl3的產(chǎn)能。該公司決定擴(kuò)建川崎事務(wù)所的設(shè)備，計劃使新設(shè)備從2016年3月開始投入使用。這樣，該公司高純度BCl3的產(chǎn)能將達(dá)到原來的1.5倍。

　　高純度BCl3是在液晶面板及硅半導(dǎo)體制造工藝中用于蝕刻鋁布線的特殊氣體。由于近年來相關(guān)廠商紛紛向使用鋁布線的有機(jī)EL面板及低溫多晶硅液晶面板投資，預(yù)計今后將產(chǎn)生穩(wěn)定的需求，因此昭和電工決定強化設(shè)備。

來源：中化新網(wǎng)

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